1、真空度缺乏：抽不到真空泵的極限真空度。

　　解決方法：首要查看真空體系的氣密性，看是否有細微漏氣。其次應翻開氣鎮，讓泵運轉30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，掃除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。替換旋片和繃簧，并清洗轉子和泵腔;查看排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時應替換排氣閥門。

　　2、真空泵漏油：這是真空泵最常見的毛病之一，首要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個方位上，其首要原因是真空泵運用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，然后導致漏油。

　　解決方法：替換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊等真空泵配件，修理完成后，注油前運用專用真空泵泵油沖刷真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以堅持油箱的清潔。值得留意的是，不能新舊真空泵泵油、不同品牌真空泵泵油混合運用。

　　3、泵軸軸承位磨損：真空泵傳動部位磨損是常見問題，包含軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位磨損。

　　解決方法：多選用直接替換原裝進口真空泵配件的方法，可從底子解決問題。需求留意的是，有必要選用原裝配件或進口資料出產的、質量較好的真空泵配件進行替換，可確保作用。

　　4、腐蝕：真空泵腐蝕形狀可分為全面腐蝕和部分腐蝕兩大類，前者較均勻的發生在真空泵悉數外表，后者僅僅發生在部分，如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應力腐蝕等。

　　解決方法：選用高分子復合資料對真空泵施行外表有機涂層防腐，具有十分杰出的耐化學功能及優異的力學功能和粘接功能，與傳統的壓力容器焊接修補比較，具有施工簡潔、成本低、安全功能和修正作用好的特色。

　　5、殼體裂紋決裂：真空泵因鑄造、加工缺點，內應力及超負荷運轉等多種原因常常導致部件呈現裂紋或開裂的現象。

　　解決方法：慣例修正方法是選用焊接，但有的零件原料是鑄鐵、鋁合金、鈦合金，還有一些易發生爆炸的風險場合，不易選用焊接修正方法，需選用其他方法處理。